功能要點

氣密與潔凈：直接式隔膜結(jié)構(gòu)，外部 / 閥座氦質(zhì)譜漏率≤5×10^-12 Pa?m3/s（實績），全部氦檢，適配超高純 / 毒燃性氣體。

長壽命與低磨損：彈簧加載無填料，膜片壽命≥2 萬次（實驗值）。

結(jié)構(gòu)與流道：零死區(qū)設(shè)計，可快速置換，降低滯留與交叉污染風(fēng)險。

可視與安全：開關(guān)標示把手，狀態(tài)一目了然，盤面安裝便捷。

材質(zhì)與處理：與氣體接觸部位標準 EP 處理（可選 UP），閥座氣密材質(zhì)標準 PCTFE（可選 PI、PA）。

連接與尺寸：適配 UJR/UPG 等接頭，便于與現(xiàn)有特氣管路集成