儀器儀表類
日本USHIO牛尾 分割投影光刻機UX-58112SC
產(chǎn)品特征:
機械手平臺可移動土50 mm，便于對齊
在可移動的部件上設(shè)置傳感器，防止誤操作·更輕量化的設(shè)計 ※與本公司的MA-10比較·防止面置掉落的抽板淡根據(jù)面置玻璃規(guī)格制造適配不規(guī)則尺寸的基板*根據(jù)基板樣式真空吸附
搭載真空系統(tǒng)，減少屏幕的歪斜特別設(shè)計的光學(xué)系統(tǒng)，提高配合度采用平行光系統(tǒng)，提高寸法精準度控制熱量對于屏幕的影響，采用排熱設(shè)計搭載高精度的積算光量計，提高反復(fù)曝光的安定化通過獨自的真空系統(tǒng)，小體型也可以完成大尺寸的曝光
規(guī)格:
燒印有效尺寸 1.190*850mmMax尺寸 1.000*1,000mm中心初期照度 6mw/c㎡以上照度分布 80%以上
